激光可用在非接触式位移传感器中，目前，在工业机械领域在现场应用中，最常用的说是激光三角测量传感器，这种传感器同时结合了分辨率高和测量范围广的特性。 目前传感器厂家提供的瑾大多是分辨率小于10UM，范围在1米之内的。高分辨率的定义是将较短距离的位移变化完全显示在相对的小窗口上，因此，1UM的分辨率和1M的探测距离不会同出现。 三角测量技术，（如图所示）用激光源发射一条以绝对平行方向照射在目标物体上的光线，物体表面的反射光线穿过透镜，通过聚焦成像在采集矩阵上形成光斑。改变传感器和目标物体之间的距离，反射光线的夹角和采集矩阵上的光斑位置都会随之变化，典型使用的（光斑位移检测工具）是线阵电荷耦合器件（CCD）。电荷耦合器件光线信号传入微处理器，通过转换后，将测量结果以模拟信号的形式输出。 为了避免信号干扰，激光测量传感器采用内部采样的方式，有时称之为积分采样或平均采样。在采样期间，为了使输出更加精确，设备会进行多次平均采样以保证测量数据的稳定性。样本越多，分辨率超高，测量周期也会增长。 快速处理，快速响应先进的采集矩阵和高速微处理器能够在不降低分辨率的前提下，使响应时间减小到250US有些传感器采用线光源代替点光源，这样会得到更多的测量数据，可以甚至避免单点的无规律性。